[发明专利]一种高含铜蚀刻液再生循环系统在审
| 申请号： | 201610646322.2 | 申请日： | 2016-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN106011858A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 韦建敏;赵兴文;张晓蓓;张小波 | 申请（专利权）人： | 成都虹华环保科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/46 |
| 代理公司： | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人： | 袁英 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高含铜蚀刻液再生循环系统，它包括蚀刻线（1），溶解再生缸（3）、过滤器（10），蚀刻线（1）与溶解再生缸（3）通过管道连接，且在该管道上设置有废液提升泵（2），溶解再生缸（3）与过滤器（10）通过管道连接，且在该管道上设置有蚀刻液提升泵（11），过滤器（10）与蚀刻线（1）连通。本发明的有益效果是：它具有零排放、无污染和生产成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高含铜 蚀刻 再生 循环系统 | ||
【主权项】：
一种高含铜蚀刻液再生循环系统，其特征在于：它包括蚀刻线（1），溶解再生缸（3）、过滤器（10），所述的蚀刻线（1）与溶解再生缸（3）通过管道连接，且在该管道上设置有废液提升泵（2），所述的溶解再生缸（3）与过滤器（10）通过管道连接，且在该管道上设置有蚀刻液提升泵（11），所述的过滤器（10）与蚀刻线（1）连通。
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