[发明专利]一种含有多相AlCrN纳米插入层的高硬度CrAlN涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201610646873.9 | 申请日： | 2016-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN106191772B | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 李伟;刘平;杜浩明;张柯;马凤仓;刘新宽;陈小红;何代华 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C28/04 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种含有多相AlCrN纳米插入层的高硬度CrAlN涂层，由Cr50Al50N层和Al80Cr20N层交替沉积在基体上，每一层Cr50Al50N的厚度为4.0‑6.0nm，每一层多相化Al80Cr20N的厚度为0.3～1.4nm，涂层的总厚度为1.5‑2.8μm。还提供了上述涂层的制备方法，先将基体表面抛光处理，经超声波清洗和离子清洗后，再采用反应溅射法在基体上交替溅射多相化Al80Cr20N层和Cr50Al50N层。由于本发明的CrAlN涂层在高速切削下依旧可以保持高的高硬度、高耐磨性和抗高温氧化性，可作为高速切削刀具及其它高温条件下服役耐磨工件的保护涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 含有 多相 alcrn 纳米 插入 硬度 craln 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种含有多相AlCrN纳米插入层的高硬度CrAlN涂层，其特征在于：由多个多相化Al80Cr20N层和Cr50Al50N层构成，所述的Al80Cr20N层和Cr50Al50N层交替沉积在基体上，所述基体为金属、硬质合金或陶瓷，每一层Cr50Al50N的厚度为4.0～6.0 nm，每一层多相化Al80Cr20N的厚度为0.3～1.4nm，所述的涂层的总厚度为1.5‑2.8μm，Cr50Al50N的柱状晶的宽度在10～30 nm之间。
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