[发明专利]激光加工装置

摘要

提供激光加工装置，在对碎屑进行充分吸引的同时不使其吸引能力降低。在激光加工装置(1)中具有对碎屑进行吸引的吸引单元(92)，在吸引单元(92)中具有碎屑捕获腔(93)和对碎屑捕获腔(93)内进行清洗的清洗单元(95)，清洗单元(95)具有用于将碎屑捕获腔(93)的开口(932a)封闭的挡板(950)和对开口(932a)被封闭的碎屑捕获腔(93)内提供清洗水的清洗水提供口(951)，挡板(950)封住碎屑捕获腔(93)的开口(932a)，从吸引口(94)进行吸引，从清洗水提供口(951)对碎屑捕获腔(93)内提供清洗水，从吸引口(94)吸引所提供的清洗水而对碎屑捕获腔(93)内进行清洗。

主权项

1.一种激光加工装置，其使激光透过卡盘工作台上所保持的板状工件的对正面进行保护的水溶性保护膜而照射到板状工件的正面上而进行烧蚀加工，其特征在于，/n该激光加工装置具有：/n聚光器，其对激光进行会聚；以及/n加工管口，其将由该聚光器会聚的激光引导至板状工件，并且对从板状工件飞散的碎屑进行吸引并排出，/n该加工管口包含：/n激光通过口，其使由该聚光器会聚的激光通过并引导至板状工件；以及/n吸引单元，其对因通过了该激光通过口的激光的照射而从板状工件飞散的碎屑进行吸引，/n该吸引单元包含：/n碎屑捕获腔，其由上壁、侧壁以及下壁构成，其中，所述上壁形成有该激光通过口，所述侧壁从该上壁垂下，所述下壁与该上壁相对并具有捕获碎屑的开口；/n吸引口，其使该碎屑捕获腔与吸引源连通；以及/n清洗单元，其对该碎屑捕获腔内进行清洗，/n该清洗单元包含：/n挡板，其将该碎屑捕获腔的该开口封闭；以及/n清洗水提供口，其对该开口被封闭的该碎屑捕获腔内提供清洗水，/n在清洗中，该挡板将该碎屑捕获腔的该开口封住而使碎屑捕获腔具有密封性，从该清洗水提供口对该碎屑捕获腔内提供清洗水，从该吸引口对所提供的该清洗水进行吸引而对该碎屑捕获腔内进行清洗。/n