[发明专利]全自动基板清洁机

摘要

全自动基板清洁机，包括：底座、前后导轨、气动抓手、基板、下静电风棒、下吹气嘴压力调节阀、下吹气嘴、上吹气嘴、上静电风棒、上吹气嘴压力调节阀、吹气低压停止压力开关、吹气恢复压力开关。本发明具有以下优点：采用静电风棒和吹气嘴从基板的上下侧同时对基板进行反复吹气清洁除尘，清洁除尘更加彻底；采用吹气压力低压时自动暂停吹气清洁除尘、吹气压力恢复后自动恢复吹气清洁除尘的清洁气源压力有效性管理，确保基板清洁除尘的效果；料条上下侧的吹气压力可独立调节，保持上下侧的吹气压力基本平衡，有效的实现基板的防抖动、防掉料和防磨损。

主权项

全自动基板清洁机，其特征在于：气动夹爪沿前后导轨左移并闭合，抓住基板后右移到达设定位置，下静电风棒、下吹气嘴、上吹气嘴、上静电风棒同时打开，对基板的上下侧面同时进行吹气清洁除尘；气动夹爪抓住基板按设定次数在前后导轨上作左右往复运动，下静电风棒、下吹气嘴、上吹气嘴、上静电风棒反复对基板进行吹气清洁除尘；清洁完成后，气动夹爪沿前后导轨左移并打开，将基板送回原处，更换新的基板继续进行吹气清洁除尘，直至所有基板全部吹气清洁除尘完成；在基板吹气清洁除尘的过程中，当吹气压力低于设定值，吹气低压停止压力开关发出信号，设备自动暂停对基板的吹气清洁除尘，等待吹气压力恢复到设定值后，吹气恢复压力开关发出信号，设备自动恢复对基板的吹气清洁除尘；分别调整下吹气嘴压力调节阀和上吹气嘴压力调节阀，保证基板上下侧的吹气压力基本平衡。