[发明专利]硅料无酸清洗方法在审
| 申请号： | 201610650763.X | 申请日： | 2016-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN106238401A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 张建新 | 申请（专利权）人： | 宁夏晶谷新能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所64103 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种硅料无酸清洗方法包括以下步骤：将硅料放入超声波清洗机中，并将硅料清洗液和超纯水按照预定比例倒入超声波清洗机中，以浸没硅料；将硅料清洗液和超纯水的混合液加热至预定温度并对硅料进行超声波清洗，之后将废液过滤处理之后再次制成超纯水；将硅料清洗液和超纯水按照预定比例倒入超声波清洗机中进行超声波清洗，之后将废液过滤处理之后再次制成超纯水；将硅料加入超纯水浸泡，之后将废液过滤处理之后再次制成超纯水；对硅料进行烘干处理，硅料清洗结束。 | ||
| 搜索关键词： | 硅料无酸 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种硅料无酸清洗方法包括以下步骤：将硅料放入超声波清洗机中，并将硅料清洗液和超纯水按照预定比例倒入超声波清洗机中，以浸没硅料；将硅料清洗液和超纯水的混合液加热至预定温度并对硅料进行超声波清洗，之后将废液过滤处理之后再次制成超纯水；将硅料清洗液和超纯水按照预定比例倒入超声波清洗机中进行超声波清洗，之后将废液过滤处理之后再次制成超纯水；将硅料加入超纯水浸泡，之后将废液过滤处理之后再次制成超纯水；对硅料进行烘干处理，硅料清洗结束。
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