[发明专利]薄膜电容器及其制作方法

摘要

本发明公开一种薄膜电容器及其制作方法。薄膜电容器的制作方法包括首先，将一承载基板放置在一加工机台上，其中加工机台具有多个沿一平面式生产线依序排列的加工区域；接着，形成交替地堆叠在承载基板上的多个金属层以及多个绝缘层，以完成一多层式堆叠结构的制作；然后，形成两个端电极结构，以分别包覆多层式堆叠结构的两相反侧端部。因此，本发明通过加工机台的加工，使得多个金属层以及多个绝缘层能够交替地堆叠在承载基板上，借此以完成薄膜电容器的多层式堆叠结构的制作。

主权项

一种薄膜电容器的制作方法，其特征在于，所述薄膜电容器的制作方法包括：将一承载基板放置在一加工机台上，其中，所述加工机台具有多个沿一平面式生产线依序排列的加工区域，且所述加工机台的每一个所述加工区域内包括一金属层加工模块以及一绝缘层加工模块；通过位于第1个所述加工区域内的所述金属层加工模块，以涂布一第1个金属层于所述承载基板上；通过位于第1个所述加工区域内的所述绝缘层加工模块，以涂布一第1个绝缘层于所述承载基板上而覆盖所述第1个金属层；依序执行N次重复步骤，以完成一多层式堆叠结构的制作，其中，N次所述重复步骤的顺序为第1、2、3、…、N次，且每一个所述重复步骤包括：通过位于第N+1个所述加工区域内的所述金属层加工模块，以涂布一第N+1个金属层于第N个绝缘层上而覆盖第N个金属层；以及通过位于第N+1个所述加工区域内的所述绝缘层加工模块，以涂布一第N+1个绝缘层于所述第N个绝缘层上而覆盖所述第N+1个金属层；以及形成两个端电极结构，以分别包覆所述多层式堆叠结构的两相反的侧端部。