[发明专利]一种一体式轴向精密微调装置

摘要

本发明涉及深紫外投影光刻物镜技术领域，具体公开一种一体式轴向精密微调装置。本发明提供一种一体式轴向精密微调装置，包括镜框、驱动器，镜框为圆环结构，包括平动部、固定部和连接部，平动部和固定部由沿圆周的间接切割线分开，连接部为整体切割的铰链，铰链设置在切割线的间接处，用于平动部和固定部的连接；驱动器设置在铰链上，用于镜框的轴向微调。通过一体式圆环结构的设计，使此轴向精密微调装置结构简单、紧凑，便于加工、装配，提高轴向运动精度。

主权项

1.一种一体式轴向精密微调装置，其特征在于，包括镜框和驱动器，所述镜框为圆环结构，所述圆环结构整体切割形成平动部、固定部和连接部，所述平动部和所述固定部通过所述连接部连接，所述驱动器设置在所述连接部上，所述驱动器驱动所述连接部运动，从而带动所述平动部相对于所述固定部运动；所述连接部包括导向铰链和驱动铰链，所述导向铰链和所述驱动铰链均沿所述镜框径向贯通，所述驱动器设置在所述驱动铰链上；所述驱动铰链包括第三柔性链、第四柔性链和第二连接臂，所述第三柔性链和所述第四柔性链的宽度小于所述第二连接臂的宽度；所述第三柔性链一端连接所述平动部，另一端连接所述第二连接臂；所述第四柔性链一端连接所述固定部，另一端连接所述第二连接臂。