[发明专利]一种用于光学检测的干涉仪标准具有效
| 申请号： | 201610652163.7 | 申请日： | 2016-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN106289052B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 黄斌;李显凌;苏东奇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24;G01B11/255 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 郝明琴 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学精密检测技术领域，具体公开一种用于光学检测的干涉仪标准具。标准具包括三套镜组，镜组分别为凹镜组、凸镜组和楔形镜组，凹镜组用于发散光线，凸镜组用于聚集光线，楔形镜组用于偏转光线，三套镜组叠放设置，镜组之间可拆卸式连接。本发明采用较少数量的光学元件来实现标准具的集成，使得结构精简，采用可拆卸式连接，便于更换，采用胶粘的方式将镜组与镜筒进行连接，保证像质要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光学 检测 干涉仪 标准 | ||
【主权项】：
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