[发明专利]一种透明导电薄膜及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201610653622.3 | 申请日： | 2016-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN106191775A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 潘锋;梁军;杨晓杨 | 申请（专利权）人： | 北京大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;H01B1/08 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 郭燕;彭家恩 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种掺杂二氧化钛透明导电薄膜及其制备方法和应用。本申请的透明导电薄膜为掺杂二氧化钛薄膜，其中，掺杂为钌掺杂，以及铌和/或钽掺杂。本申请的透明导电薄膜，在二氧化钛中掺杂钌，同时掺杂铌和钽中的一种或两种，使得制备的掺杂二氧化钛薄膜，导电性能优良，耐温性好，透光率高；并且，本申请的透明导电薄膜其原材料成本低廉资源丰富，其制备方法也简单易操作，能够满足大规模批量生产的需求，为透明导电薄膜的推广应用和研究奠定了基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种透明导电薄膜，其特征在于：所述透明导电薄膜为掺杂二氧化钛薄膜，所述掺杂为钌掺杂，以及铌和/或钽掺杂。
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