[发明专利]一种用于多晶硅片生产的自动插片机在审
申请号: | 201610656349.X | 申请日: | 2016-08-11 |
公开(公告)号: | CN106298606A | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 张冠纶 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(合肥)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙)34120 | 代理人: | 周发军 |
地址: | 230000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及多晶硅插片机技术领域,具体涉及一种用于多晶硅片生产的自动插片机,包括机体,机体上设有硅片输出装置、硅片传送装置、和装片盒,带传动机构、光伏发电板、逆电器、配电箱;本发明硅片传送装置上设有光学距离测量仪光学测量仪通过测量装片盒中最顶端的硅片与吸盘的距离然后将信号依次传递给微处理器、信号输出装置、控制器,控制器控制吸盘,当吸盘和装片盒的距离小于一定值时,吸盘就会吸起硅片,带传动机构为硅片传送装置提供动力使硅片传送作用插装到装片盒内,当压力也会减小时压力传感器会将信号依次传递给微处理器,控制器控制自动伸缩杆缩短,经光学距离测量仪检测控制吸盘返回,自动化程度更完全,效率更高具有很强的创造性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 多晶 硅片 生产 自动 插片机 | ||
【主权项】:
一种用于多晶硅片生产的自动插片机,其特征在于:包括机体,所述的机体上设有硅片输出装置、硅片传送装置、和装片盒,带传动机构、光伏发电板、逆电器、配电箱,所述硅片输出装置包括自动伸缩杆、装片盒、压力传感器、微处理器、信号输出装置、控制器,所述硅片传送装置包括硅片吸盘、吸盘座、横梁导轨,所述带传动机构包括带轮、传送带、电机、滚轮轴承,所述装片盒分别设置在所述机体的左半部和右半部,固定设置所述机体的上部且位于所述装片盒的后方,所述带传送机构贯穿设置在所述装片盒的后方,所述硅片输出装置设置在所述机体的中心位置,所述吸盘设置在所述硅片输出装置的上方且所述吸盘设置有光学距离测量仪、微处理器、信号输出设备、控制器,所述横梁导轨固定设置在所述吸盘上并固定设置在所述机体的上部,所述光伏发电板、逆电器、配电箱依次电性连接,所述配电箱与所述电机相连,所述电机通过所述滚轮轴承与所述带轮连接,所述带轮通过传送带相互连接,所述光学距离测量仪、微处理器、信号输出装置、控制器依次电性连接,所述压力传感器,微处理器、信号输出装置、控制器依次电性连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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