[发明专利]一种碳铜复合靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种碳铜复合靶材的制备方法，得到碳‑铜复合靶材具有良好的耐弯折性能，其在重复弯折多次的情况下，不会出现断裂的问题，以较好的对靶材的部分表面进行喷砂处理，同时不影响到靶材的其他不需要喷砂的部分。

主权项

一种碳铜复合靶材的制备方法，该方法包括如下步骤：（1）制备靶材将碳材料水溶液进行超高速剪切力分散，再向碳材料水溶液中分别加入铜盐、分散剂和稳定剂，加热到75~85℃，持温30‑60min，得到反应液，反应液中的铜离子均匀析出在碳材料的表面；所述的分散剂为聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯醇、聚甲基乙烯醚、聚丙烯酸中的任意一种，或任意一种非离子型界面活性剂，或任意一种螯合剂；所述的稳定剂为聚乙烯亚胺、柠檬酸钠、葡萄醣、十二烷基硫酸钠、聚乙烯吡咯烷酮中的任意一种，或任意一种树枝状高分子；对反应液进行冷冻干燥，去除溶剂，获得表面吸附有纳米铜颗粒的碳材料粉末；选用原料铜，在真空熔炼设备中熔融成高温熔融液体铜浆；将表面吸附有纳米铜颗粒的碳材料粉末投入铜浆中，得到高温混合浆料，以表面吸附有纳米铜颗粒的碳材料粉末与原料铜的质量总和为100%计，表面吸附有纳米铜颗粒的碳材料粉末、原料铜的百分含量分别为：15~35%、65~85%；将高温混合浆料倒进750~900℃的模具内持温5~7小时进行均质化热处理，之后，冷却获得铸锭，并对铸锭进行冷轧延和退火热处理，退火热处理的参数条件为：温度为550~650℃，时间为2~3h，最终机床加工，即可获得碳‑铜复合靶材；（2）喷砂处理提供所述碳铜合金靶材，所述靶材包括待喷砂区域以及不需要喷砂的保留区域；至少在所述保留区域靠近待喷砂区域的部分，以及部分待喷砂区域粘贴保护层；去除位于待喷砂区域的保护层，以完全露出靶材的待喷砂区域；对靶材的待喷砂区域进行喷砂处理；在喷砂处理的步骤之后，去除靶材上剩余的保护层。