[发明专利]一种纳米位移台六自由度校准装置在审
| 申请号： | 201610657239.5 | 申请日： | 2016-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN106052570A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 施玉书;高思田;李庆贤;王兴旺;李伟;李琪;李适;王鹤群;皮磊;张树;郭鑫;沈飞 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 王淑玲 |
| 地址： | 100000 北京市朝阳区北三环*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移测量难题，适用于X轴、Y轴、Z轴和旋转角度的纳米位移台同时变化的全姿态识别与超精密测量校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 位移 自由度 校准 装置 | ||
【主权项】：
一种纳米位移台六自由度校准装置，其特征在于，包括：支撑系统(1)、激光系统(2)和测量系统(3)，所述支撑系统(1)包括支撑平台(11)和气浮平台(12)，所述激光系统(2)设置在所述支撑平台(11)上，所述测量系统(3)设置在所述气浮平台(12)上，所述激光系统(2)和所述测量系统(3)电连接；所述测量系统(3)包括固定支架(31)、纳米位移台(33)、测量镜(38)和三维干涉仪，所述纳米位移台(33)通过纳米位移调整板(32)固定在所述气浮平台(12)上，且所述纳米位移台(33)位于所述固定支架(31)的下方，所述测量镜(38)通过测量镜底座(37)设置在所述固定支架(31)的上，所述三维干涉仪的X轴、Y轴和Z轴均两两正交的固定在所述固定支架(31)上并分别与所述测量镜(38)的三个反射面垂直。
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