[发明专利]衍射光学元件及计测装置有效
| 申请号： | 201610663875.9 | 申请日： | 2012-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN106154563B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 宫坂浩司 | 申请（专利权）人： | AGC株式会社 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B27/42 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 方应星;高培培 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种衍射光学元件及计测装置，该衍射光学元可将光斑均匀地分布到较大区域，具有：第1衍射光学部，对入射的光产生二维的衍射光；第2衍射光学部，对入射的光产生二维的衍射光，使由于光入射到上述第1衍射光学部而产生的衍射光入射到上述第2衍射光学部，从上述第2衍射光学部产生衍射光，所述衍射光学元件的特征在于，上述第1衍射光学部中的衍射角度为θ1，产生的衍射光的光斑的数量为k1，上述第2衍射光学部中的衍射角度为θ2，产生的衍射光的光斑的数量为k2时，θ1≥θ2且k1≥k2，或者θ1≤θ2且k1≤k2，通过提供该衍射光学元件来解决上述课题。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 装置 | ||
【主权项】：
1.一种衍射光学元件，具有：第1衍射光学部，对入射的光产生二维的衍射光；第2衍射光学部，对入射的光产生二维的衍射光，所述第1衍射光学部和所述第2衍射光学部中的多个基本单元二维且周期性地排列，使由于光入射到上述第1衍射光学部而产生的衍射光入射到上述第2衍射光学部，从上述第2衍射光学部产生衍射光，这时所获得的光斑的数量为100以上，所述衍射光学元件的特征在于，上述第1衍射光学部中的衍射角度为θ1，产生的衍射光的光斑的数量为k1，上述第2衍射光学部中的衍射角度为θ2，产生的衍射光的光斑的数量为k2时，θ1≥θ2且k1≥k2，或者θ1≤θ2且k1≤k2。
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