[发明专利]一种用于制造半导体模块的高效率传动机构及其工作方法

摘要

本发明公开了一种用于制造半导体模块的高效率传动机构，主要涉及半导体制造的技术领域，包括了马达、直齿轮副、链轮副、分割器、同步皮带副、主动轮、带料链条、从动轮、带料链片、主轴和传动轴；所述马达依次与主轴、直齿轮副配合连接，所述主轴一端与链轮副相接，所述链轮副依次与分割器、同步皮带副以及传动轴配合连接；安装在所述传动轴上的主动轮通过带料链条与从动轮相连，所述带料链条表面设有一组带料链片；本发明传动机构的整体结构及其运行过程非常简单，维修保养方便快捷，成本低廉，并且人员操作简单,能够保证长时间高效稳定的运行。本发明还公开了一种用于制造半导体模块的高效率传动机构的工作方法。

主权项

一种用于制造半导体模块的高效率传动机构，其特征在于：包括：马达（1）、直齿轮副（2）、链轮副（3）、分割器（4）、同步皮带副（5）、主动轮（6）、带料链条（7）、从动轮（8）、带料链片（9）、主轴（10）和传动轴（11）；所述马达（1）依次与主轴（10）、直齿轮副（2）配合连接，所述主轴（10）一端与链轮副（3）相接，所述链轮副（3）依次与分割器（4）、同步皮带副（5）以及传动轴（11）配合连接；安装在所述传动轴（11）上的主动轮（6）通过带料链条（7）与从动轮（8）相连，所述带料链条（7）表面设有一组带料链片（9）。