[发明专利]一种用于制造半导体模块的可移式机架单元在审
申请号: | 201610666218.X | 申请日: | 2016-08-15 |
公开(公告)号: | CN106252249A | 公开(公告)日: | 2016-12-21 |
发明(设计)人: | 程嘉义 | 申请(专利权)人: | 太仓高创电气技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/67 |
代理公司: | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙)32267 | 代理人: | 马广旭 |
地址: | 215431 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种用于制造半导体模块的可移式机架单元,主要涉及半导体制造的技术领域,包括了主体机构、控制机构和滑轮组;所述主体机构包括:机架、面板、轨道、测试机板和电控组;所述机架上表面依次设有面板和轨道,中部设有工具箱,底部设有一组滑轮组;所述机架通过支架与上方测试机板固定连接,所述测试机板一侧接有电控组;所述控制机构包括:显示器和PLC控制器;所述控制器顶部与测试机板相接,所述测试机板表面设有的自动报警装置与控制机构相连;所述滑轮组包括:滑轮和紧锁机构;本发明机架单元整体结构非常简单,搬运及维修保养方便快捷,成本低廉,并且操作人员可以方便地监控其运行状态,生产效率高,人员劳动量小。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 制造 半导体 模块 可移式 机架 单元 | ||
【主权项】:
一种用于制造半导体模块的可移式机架单元,其特征在于:包括:主体机构、控制机构(6)和滑轮组(8);所述主体机构包括:机架(1)、面板(2)、轨道(3)、测试机板(4)和电控组(5);所述机架(1)上表面依次设有面板(2)和轨道(3),中部设有工具箱(7),底部设有一组滑轮组(8);所述机架(1)通过支架与上方测试机板(4)固定连接,所述测试机板(4)一侧接有电控组(5);所述控制机构(6)包括:显示器和PLC控制器;所述控制器(6)顶部与测试机板(4)相接,所述测试机板(4)表面设有的自动报警装置(9)与控制机构(6)相连;所述滑轮组(8)包括:滑轮和紧锁机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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