[发明专利]附加相移补偿的高鲁棒性零差激光测振仪及四步调整法

摘要

附加相移补偿的高鲁棒性零差激光测振仪及四步调整法属于激光测振技术领域；采用消偏振分光镜分光形成参考臂和测量臂，在参考臂和测量臂上分别引入四分之一波片和二分之一波片，采用四步调整法调整两臂中波片的偏航角度，通过改变波片的相位延迟补偿消偏振分光镜的附加相移，使干涉部分输出的参考光和测量光为正交偏振光；本发明光路调整简单，减少了光路的非线性误差，提高了光路的鲁棒性，可满足实时测量的需求，可有效解决现有技术方案中由于偏振混叠和附加相移导致光路的波片旋转角度误差对非正交误差影响显著的问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。

主权项

1.一种附加相移补偿的高鲁棒性零差激光测振仪，由干涉部分(13)和探测部分(14)组成，其特征在于：所述干涉部分(13)由激光器(1)、光隔离器(2)、第一消偏振分光镜(3)、参考镜(4)、第一四分之一波片(25)、二分之一波片(5)和测量镜(6)组成；激光器(1)发出线偏振光，经光隔离器(2)后被第一消偏振分光镜(3)分光，反射光作为参考光(15)与第一四分之一波片(25)、参考镜(4)形成参考臂，透射光作为测量光(16)与二分之一波片(5)、测量镜(6)形成测量臂，第一四分之一波片(25)位于第一消偏振分光镜(3)和参考镜(4)之间，二分之一波片(5)位于第一消偏振分光镜(3)和测量镜(6)之间；参考光(15)经第一消偏振分光镜(3)透射，测量光(16)经第一消偏振分光镜(3)反射，参考光(15)与测量光(16)合光形成干涉光(17)；所述探测部分(14)由第二消偏振分光镜(20)、第二四分之一波片(26)，渥拉斯特棱镜(7)、第一反射镜(8)、第二反射镜(27)、第一光电探测器(9)、第二光电探测器(10)、第三光电探测器(11)和第四光电探测器(12)组成；干涉光(17)经第二消偏振分光镜(20)透射形成第一光束(18)和反射形成第二光束(19)；第一光束(18)经渥拉斯特棱镜(7)分成第一o光(21)、第一e光(22)，分别被第一光电探测器(9)、第二光电探测器(10)接收；第二光束(19)先经第二四分之一波片(26)后，依次被第一反射镜(8)、第二反射镜(27)反射，再被渥拉斯特棱镜(7)分成第二o光(23)、第二e光(24)，分别被第三光电探测器(11)、第四光电探测器(12)接收；所述第一四分之一波片(25)和二分之一波片(5)具有一定的偏航角度。