[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物及使用其的抗蚀剂剥离方法有效
| 申请号： | 201610669090.2 | 申请日： | 2016-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN106468860B | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 崔汉永;高京俊;李喻珍 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;陈彦 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及抗蚀剂剥离液组合物使用其的抗蚀剂剥离方法，更详细地说，涉及如下的抗蚀剂剥离液组合物，该抗蚀剂剥离液组合物通过包含乙醇胺、化学式1所表示的酰胺和在苯环具有两个以上取代基的苯并三唑系防腐蚀剂，从而显示出优异的剥离能力，与此同时，能够使对下部金属配线、绝缘膜的腐蚀最小化，并且经时稳定性优异，能够从根本上抑制自身反应导致的抗蚀剂剥离能力下降、副产物生成等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 组合 使用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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