[发明专利]金属掩模制造方法在审

专利信息
申请号: 201610669307.X 申请日: 2016-08-15
公开(公告)号: CN106552993A 公开(公告)日: 2017-04-05
发明(设计)人: 河野克巳;高屋雅启 申请(专利权)人: 新东超精密有限公司
主分类号: B23K26/21 分类号: B23K26/21;C23C14/04
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 代理人: 方应星;高培培
地址: 暂无信息 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种金属掩模制造方法,容易制造高精细度的金属掩模。该方法是将薄膜金属片(8)激光焊接于掩模框架(4)而制造金属掩模(2)的金属掩模制造方法,包括:第一载置工序,将厚度比所述薄膜金属片厚、且厚度为所述薄膜金属片的厚度的5倍以下的中间金属片(6)载置于所述掩模框架;第一焊接工序,将载置于所述掩模框架的所述中间金属片激光焊接于所述掩模框架;第二载置工序,在载置于所述掩模框架的所述中间金属片的上方载置所述薄膜金属片;及第二焊接工序,将载置于所述中间金属片的所述薄膜金属片激光焊接于所述中间金属片。
搜索关键词: 金属 制造 方法
【主权项】:
一种金属掩模制造方法,是将薄膜金属片激光焊接于掩模框架而制造金属掩模的金属掩模制造方法,其特征在于,包括:第一载置工序,将厚度比所述薄膜金属片厚、且厚度为所述薄膜金属片的厚度的5倍以下的中间金属片载置于所述掩模框架;第一焊接工序,将载置于所述掩模框架的所述中间金属片激光焊接于所述掩模框架;第二载置工序,在载置于所述掩模框架的所述中间金属片的上方载置所述薄膜金属片;及第二焊接工序,将载置于所述中间金属片的所述薄膜金属片激光焊接于所述中间金属片。
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