[发明专利]一种双金属/陶瓷复合薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201610671229.7 | 申请日： | 2016-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN106167892B | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 高俊华;曹鸿涛;王小雨 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双金属/陶瓷复合薄膜，由双金属粒子和陶瓷相组成，双金属粒子嵌入到陶瓷相中，形成双金属/陶瓷复合层；所述的双金属粒子为WAl或WTi，其中，基体元素为W，掺杂元素为Al或Ti；所述的陶瓷相为氧化铝或二氧化硅；本发明还公开了该双金属合金陶瓷薄膜的制备方法，通过多靶磁控共溅射的技术来实施，其制备工艺简单，所获得的双金属陶瓷薄膜在紫外、可见光和近红外区域具有强的太阳光谱吸收特性，并具备优异的热稳定性，适用于温度高于550℃下金属纳米粒子的光吸收应用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双金属 陶瓷 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种双金属/陶瓷复合薄膜，其特征在于：由双金属粒子和陶瓷相组成，双金属粒子嵌入到陶瓷相中，形成双金属/陶瓷复合层；所述的双金属粒子为WAl或WTi，其中，基体元素为W，掺杂元素为Al或Ti；所述的陶瓷相为氧化铝或二氧化硅；所述的双金属粒子为WAl时，Al的平均原子百分比为3％～17％；所述的双金属粒子为WTi时，Ti的平均原子百分比为3％～18％。
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