[发明专利]一种带宽可调光滤波器组件

摘要

本发明公开了一种带宽可调光滤波器组件，由光输入单元，前端角度控制单元，滤波光栅，后端角度控制单元，光输出单元构成。所述光输入单元对输入光进行准直和扩束，前端角度控制单元控制光束进入滤波光栅的角度，滤波光栅对光束进行分离并将各波长光按照角度进行分布，后端角度选择单元对特定角度的光进行选择传向输出单元，光输出单元耦合进该光后对外输出。本发明通过控制光束对滤波光栅的入射角度实现对滤波带宽的连续可调，通过对滤波光栅滤出光进行选择实现波长同时可调。

主权项

1.一种带宽可调光滤波器组件，其特征在于：包括光输入单元(1‑1)、前端角度控制单元(1‑2)、滤波光栅(1‑3)、后端角度控制单元(1‑4)、光输出单元(1‑5)，所述光输入单元(1‑1)用于对输入光进行准直和扩束，所述前端角度控制单元(1‑2)用于控制光束进入滤波光栅(1‑3)的角度，所述滤波光栅(1‑3)用于对光束进行分离并将各波长光按照角度进行分布，所述后端角度控制单元(1‑4)用于控制滤波光栅(1‑3)出射光束对光输出单元(1‑5)的耦合，所述光输出单元(1‑5)用于耦合进该光后对外输出；所述前端角度控制单元(1‑2)和后端角度控制单元(1‑4)使用的是电机驱动镜面转动系统(4‑2)，所述电机驱动镜面转动系统(4‑2)，包括固定细杆(6‑1)、平面反射镜(6‑2)、电机(6‑3)及驱动细杆(6‑4)，所述平面反射镜(6‑2)以固定细杆(6‑1)为轴转动，所述驱动细杆(6‑4)与平面反射镜(6‑2)连接，所述电机(6‑3)的前端连接驱动细杆(6‑4)并通过电驱动控制驱动细杆(6‑4)沿其径向进行伸缩；或者所述后端角度控制单元(1‑4)和前端角度控制单元(1‑2)使用的是MEMS转镜(4‑4)，所述MEMS转镜(4‑4)，包括硅基板(7‑1)、活动反射镜(7‑2)、第一电极(7‑3)、第二电极(7‑4)，所述硅基板(7‑1)是硅材质底板，所述活动反射镜(7‑2)是镀金的可以转动的反射镜，所述第一电极(7‑3)与第二电极(7‑4)是用来加电的电极；当对第一电极(7‑3)、第二电极(7‑4)加电时，所述活动反射镜(7‑2)的镜面会沿其中轴进行受控转动。