[发明专利]石英舟检具在审
| 申请号： | 201610673403.1 | 申请日： | 2016-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN106052518A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 吴俊;邹海军;吴佳俊;王少华;吴家宏;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 郑云 |
| 地址： | 213213 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及石英舟检测设备技术领域，尤其是涉及一种石英舟检具，所述石英舟上等间距分布有若干卡槽，该检具包括底板及设置在底板上的两个定位座，所述定位座的上方开设有用于定位石英舟的基准槽，所述底板上位于两个所述定位座之间设置有检测机构；所述检测机构包括两个立柱，两个所述立柱之间滑动设置有与所述卡槽相匹配的检验滑片；本发明提高了试舟效率，也给自动化设备提供了一个统一判断标准，方便在自动化设备出现偏差时调整，避免了在自动化设备上试舟造成硅片破损，影响产能的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 舟检具 | ||
【主权项】：
一种石英舟检具，所述石英舟(6)上等间距分布有若干卡槽，其特征在于：该检具包括底板(1)及设置在底板(1)上的两个定位座(3)，所述定位座(3)的上方开设有用于定位石英舟(6)的基准槽(301)，所述底板(1)上位于两个所述定位座(3)之间设置有检测机构；所述检测机构包括两个立柱(5)，两个所述立柱(5)之间滑动设置有与所述卡槽相匹配的检验滑片(4)。
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