[发明专利]刷子、背面处理组件和用于清洗衬底的方法在审
| 申请号： | 201610674016.X | 申请日： | 2016-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN106466051A | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 曾国书;商耀元 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | A46B7/08 | 分类号： | A46B7/08;A46B9/02 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人： | 章社杲,李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种用于背面处理(BST)的刷子。刷子包括基座部分和刷部分。刷部分连接到基座部分。刷部分有多个设置在远离基座部分的表面上的槽，槽的至少一个具有至少部分位于表面的边缘的至少一个开口端。本发明实施例涉及刷子、背面处理组件和用于清洗衬底的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 刷子 背面 处理 组件 用于 清洗 衬底 方法 | ||
【主权项】：
一种用于背面处理(BST)的刷子，所述刷子包括：基座部分；以及刷部分，连接至所述基座部分，所述刷部分具有设置在远离所述基座部分的表面上的多个槽，其中，所述槽的至少一个具有至少部分地位于所述表面的边缘上的至少一个开口端。
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