[发明专利]一种防止光阻凝聚装置在审
申请号: | 201610679513.9 | 申请日: | 2016-08-17 |
公开(公告)号: | CN106292184A | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 沈顺杰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人: | 王浩 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种防止光阻凝聚装置。属于光阻涂覆装置。光阻在光阻桶底部的凝聚物及残渣会进入管路,影响下一桶新光阻使用效果。防止光阻凝聚装置包括光阻管路(1)、光阻桶(2)和转动装置,转动装置包括支撑箱体(3)、滚轴(4)、电机(5)和电源(6),电机(5)和电源(6)安装在支撑箱体(3)内,电源(6)连接电机(5),电机(5)与滚轴(4)的一端固定,滚轴(4)另一端位于支撑箱体(3)外部;滚轴(4)和光阻桶(2)的中轴线平行设置,且滚轴(4)和光阻桶(2)的外壁之间相接触,滚轴(4)为光阻桶(2)提供转动动力。本发明具有将所盛装的光阻充分混合的作用,输入涂覆机中使用时观感光滑无暇。 | ||
搜索关键词: | 一种 防止 凝聚 装置 | ||
【主权项】:
一种防止光阻凝聚装置,其组成包括:光阻管路(1)和光阻桶(2),光阻管路(1)的一端位于光阻桶(2)内的底部,光阻管路(1)的另一端伸出光阻桶(2)外部,其特征在于,所述防止光阻凝聚装置还包括转动装置,转动装置包括支撑箱体(3)、滚轴(4)、电机(5)和电源(6),电机(5)和电源(6)安装在支撑箱体(3)内,电源(6)连接电机(5),电机(5)与滚轴(4)的一端固定,滚轴(4)另一端位于支撑箱体(3)外部;滚轴(4)和光阻桶(2)的中轴线平行设置,且滚轴(4)和光阻桶(2)的外壁之间相接触,滚轴(4)为光阻桶(2)提供转动动力。
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