[发明专利]一种激光诱导液体锡靶放电的等离子体装置在审
| 申请号： | 201610679574.5 | 申请日： | 2016-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN106370645A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 姚黎为;王新兵;左都罗;陆培祥 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/71 | 分类号： | G01N21/71 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心42201 | 代理人： | 廖盈春 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种激光诱导液体锡靶放电的等离子体装置，包括供能模块、极紫外光产生模块和极紫外探测器；供能模块用于给所述极紫外光产生模块提供放电需要的能量；极紫外光产生模块包括液态锡靶，当激光照射在液态锡靶的锡液面上时产生极紫外光；极紫外探测器设置在与液态锡靶的锡液面成45°角的方向上，用于接收极紫外光。激光聚焦后作用到液态锡靶上，使其气化、电离产生预等离子体，同时将液态锡作为一个电极，在锡液上方放置另外一个铜电极，在两个电极之间加高压，高压击穿预等离子体放电，使其进一步电离产生主等离子体，辐射13.5nm极紫外光。本发明使用液体锡作为电极取代了传统的转盘电极，简化了系统，同时提高了稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 诱导 液体 放电 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
一种激光诱导液体锡靶放电的等离子体装置，其特征在于，包括：供能模块、极紫外光产生模块和极紫外探测器(9)；所述供能模块用于给所述极紫外光产生模块提供放电需要的能量；所述极紫外光产生模块包括液态锡靶(7)，当激光照射在所述液态锡靶(7)的锡液面上时产生极紫外光；所述极紫外探测器(9)设置在与所述液态锡靶(7)的锡液面成45°角的方向上，用于接收所述极紫外光。
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