[发明专利]直写式光刻机扫描采用不等距触发进行图形校正的方法

摘要

本发明提出直写式光刻机扫描采用不等距触发进行图形校正的方法，属于图形校正技术领域。该不等距图形校正方法首先通过若干个工件台位置触发信号标定Trigger的长度；然后将图形扫描的整个行程范围分为多个校正段，每个校正段中均定义四个寄存器，所述四个寄存器分别定义校正段的起点、终点、校正间隔以及校正方向；最后根据每个校正段内图像的错位方向，结合对应校正段内四个寄存器的定义内容实现图像的校正。该方法具有图形校正能力强，校正效果好等特点。

主权项

直写式光刻机扫描采用不等距触发进行图形校正的方法，其特征在于，所述不等距图形校正方法首先通过若干个工件台位置触发信号标定Trigger的长度；然后将图形扫描的整个行程范围分为M个校正段，其中，M为大于等于1的整数，每个校正段中均定义四个寄存器，所述四个寄存器分别定义校正段的起点、终点、校正间隔以及校正方向；最后根据每个校正段内图像的错位方向，结合对应校正段内四个寄存器的定义内容实现图像的校正；所述校正方法的具体步骤为：第一步：采用多个工件台位置触发信号触发多次图形发生器，使多次图形翻转；其中，每相邻两次图像发生器的工件台位置触发信号的个数不相同；第二步：将第一步中所述用多个工件台位置触发信号触发一次图像发生器定义为一个Trigger，记做TriggerP，其中，P的取值与工件台位置触发信号触发次数相对应；第三步：对图像进行扫描，按照图形扫描后各扫描视场间的误差测量所得的拼接误差，将图形扫描的整个行程范围分为M个校正段；第四步：根据第三步所述的拼接误差，在所述M个校正段中的每个校正段内均定义四个寄存器，分别为一号寄存器，二号寄存器，三号寄存器和四号寄存器，所述一号寄存器定义其所在校正段的校正段起点；所述二号寄存器定义其所在校正段的校正段终点；所述三号寄存器定义其所在校正段的校正间隔；所述四号寄存器定义其所在校正段的校正方向；第五步：从第1个校正段开始，根据第四步所述四个寄存器的定义值，检测该校正段内是否存在图像错位，如存在图像错位，根据该校正段内图像的错位方向确定四号寄存器的校正方向，并对该校正段内的错位图像进行校正；第六步：重复第五步检测过程，对第2个校正段内的图像进行检测及图像校正处理，直至完成第M个校正段内图像的检测及校正处理。