[发明专利]一种AlTiCrN高温耐磨涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201610685235.8 | 申请日： | 2016-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN106086806B | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 周晖;郑军;王启民;贵宾华;杨拉毛草;耿东森 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 李爱英;杨志兵 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明提供一种AlTiCrN高温耐磨涂层及其制备方法，属于真空技术领域。涂层结构为AlTi结合层、AlTiN过渡层和AlTiCrN主耐磨层；结合层附着在硬质合金上，厚度为0.0001～1微米，成分为Al 50～67at.％，Ti 33～50at.％；过渡层附着在结合层上，厚度为0.5～2微米，成分为Al 25～35at.％，Ti 15～25at.％，N 40～60at.％；主耐磨层附着在过渡层上，厚度为1～3微米，成分为Al 10～30at.％，Ti 10～20at.％，Cr 1～30at.％，N 49～60at.％；其中结合层和过渡层由高功率脉冲磁控溅射技术制备；主耐磨层由高功率和直流脉冲磁控溅射复合涂层技术制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 alticrn 高温 耐磨 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种AlTiCrN高温耐磨涂层，其特征在于：所述涂层由AlTi结合层(2)、AlTiN过渡层(3)和AlTiCrN主耐磨层(4)构成；AlTi结合层(2)附着在硬质合金(1)上，厚度为0.1纳米～1微米，成分为：Al 50～67at.％，Ti 33～50at.％；AlTiN过渡层(3)附着在AlTi结合层(2)上，厚度为0.5～2微米，成分为：Al 25～35at.％，Ti 15～25at.％，N 40～60at.％；AlTiCrN主耐磨层(4)附着在AlTiN过渡层(3)上，厚度为1～3微米，成分为：Al 10～30at.％，Ti 10～20at.％，Cr 1～30at.％，N 49～60at.％；其中AlTi结合层(2)和AlTiN过渡层(3)由高功率脉冲磁控溅射技术制备，AlTiCrN主耐磨层(4)是采用高功率脉冲磁控溅射和直流脉冲磁控溅射复合涂层技术制备。
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