[发明专利]有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法

摘要

公开了有机发光显示装置、用于沉积有机发光显示装置的有机层的设备，以及通过使用该设备制造有机发光显示装置的方法。用于沉积有机层的设备包括沉积部，沉积部包括与衬底间隔开的沉积组件。沉积组件包括配置为加热沉积材料的沉积源、安装在沉积源上的沉积源喷嘴单元、面对沉积源喷嘴单元的多个图案板以及布置在沉积源与多个图案板之间的源遮板。沉积源喷嘴单元包括沉积喷嘴。多个图案板包括多个第一图案化缝隙和多个第二图案化缝隙中的至少一个。源遮板配置为根据沉积源与衬底的相对位置允许沉积材料穿过多个图案板中的一个。

主权项

用于沉积有机层的设备，包括：沉积部，包括与衬底间隔开的沉积组件，其中，所述沉积组件包括：沉积源，配置为加热沉积材料；沉积源喷嘴单元，安装在所述沉积源上，所述沉积源喷嘴单元包括沉积喷嘴；多个图案板，面对所述沉积源喷嘴单元，所述多个图案板包括多个第一图案化缝隙和多个第二图案化缝隙中的至少之一；以及源遮板，布置在所述沉积源与所述多个图案板之间，所述源遮板配置为根据所述沉积源与所述衬底之间的相对位置允许所述沉积材料穿过所述多个图案板中的一个。