[发明专利]静电电容检测式压力开关

摘要

本发明的目的在于提供一种静电电容检测式压力开关，对于用作一方的电极的膜片与用于检测来自膜片的信号的信号线的连接，不会对膜片的动作特性产生影响，且能够确保稳定的导通。本发明的静电电容检测式压力开关(900)的特征在于，具备：根据从管路(11)供给的工作介质的压力进行位移的金属制膜片(800)；与膜片(800)电连接的可动电极(921)；设在膜片(800)的与管路(11)相对的大气压侧的固定电极(122)；以及确保固定电极(122)与膜片(800)的绝缘的绝缘被膜(123)，形成有作为在膜片(800)的外周的一部分向外侧延伸的至少一个突起部的、用于连接可动电极(921)的电极接触部(801)。

主权项

1.一种静电电容检测式压力开关，具备：膜片，其根据从管路供给的工作介质的压力的变动而进行位移，并且以在来自上述管路的上述工作介质的压力小于设定值的情况下，形成向下侧膨胀的形状，若来自管路的上述工作介质的压力成为设定值以上，则利用上述工作介质的压力从向下侧膨胀的形状可逆地反转成向上侧膨胀的形状的方式进行速动；可动电极，其电连接于上述膜片；固定电极，其设在上述膜片的与上述管路相对的大气压侧；以及绝缘被膜，其确保上述固定电极与上述膜片的绝缘，上述静电电容检测式压力开关构成为，根据上述工作介质的压力的变动，上述膜片进行位移，将该位移作为与上述可动电极连接的上述膜片和上述固定电极之间的静电电容的变动进行检测，且基于该静电电容的变动，检测上述工作介质的压力，上述静电电容检测式压力开关的特征在于，形成有电极接触部，其为在上述膜片的外周的一部分向外侧延伸的至少一个突起部，且用于连接上述可动电极。