[发明专利]三维微流控芯片、其制备方法及其应用有效
| 申请号： | 201610686227.5 | 申请日： | 2016-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN107754870B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 周小虎;唐骏 | 申请（专利权）人： | 厦门多维生物医药科技有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;G01N33/50 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 张国梁 |
| 地址： | 361000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本文涉及三维微流控芯片、其制备方法及其应用。具体而言，本文涉及一种用来一步成型制作三维微流控芯片的加工方法，所述方法包括以下步骤：通过控制模板硅片的显影时间来控制特定区域微结构的显影深度，使得特定区域微结构的未交联聚合光刻胶不被显影剂完全溶解，从而使得模板硅片上的光刻胶具有三维结构。本文还涉及包括一个或多个U型坝的三维微流控芯片及其应用。本文通过不完全显影来制作三维微流控芯片的方法非常简单，同时极大的降低了对芯片加工平台的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 微流控 芯片 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用来一步成型制作三维微流控芯片的加工方法，所述方法包括以下步骤：通过控制模板硅片的显影时间来控制特定区域微结构的显影深度，使得特定区域微结构的未交联聚合光刻胶不被显影剂完全溶解，从而使得模板硅片上的光刻胶具有三维结构，其中三维结构的纵向尺寸即显影深度通过调节显影时间来控制。/n
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