[发明专利]多晶黑硅制绒用扩孔酸液的添加剂及其应用有效
| 申请号： | 201610688156.2 | 申请日： | 2016-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN106119976B | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 章圆圆;裴银强 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;C23F1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶黑硅制绒用扩孔酸液的添加剂，其各组分的质量百分含量为：聚乙烯醇0.5%～2%，三乙醇胺1%～5%，酒石酸1%～3%，硅烷偶联剂0.5%～2%，余量为水。本发明还提供应用上述添加剂的扩孔酸液和多晶黑硅制绒方法。在扩孔酸液中添加本发明的添加剂，能使得扩孔处理的反应变慢进而可控，能使扩孔酸液在多晶黑硅各个晶面上的反应速率最大程度地保持一致，从而各向异性腐蚀得到了抑制，最终使多晶黑硅的晶花得到明显改善，黑硅的外观优势和性能优势得到体现。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 黑硅制绒用 扩孔 添加剂 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.多晶黑硅制绒用扩孔酸液的添加剂，其特征在于，其各组分的质量百分含量为：聚乙烯醇0.5%～2%，三乙醇胺1%～5%，酒石酸1%～3%，硅烷偶联剂0.5%～2%，余量为水；所述硅烷偶联剂选自KH550、KH560和KH570中的一种或几种。
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