[发明专利]一种具有双工作模式的压电晶体气体传感器有效
| 申请号： | 201610688587.9 | 申请日： | 2016-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN106153718B | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 王远;邱勇;邢涛;卿小霞 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院总体工程研究所 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N5/02 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 杨春 |
| 地址： | 621908*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有双工作模式的压电晶体气体传感器，包括石英晶片和电极，电极包括第一金属电极、第二金属电极和第三金属电极，第一金属电极和第二金属电极设于石英晶片的正面，第一金属电极和第二金属电极形成交错环状叉指电极结构，第三金属电极设于石英晶片的反面，第三金属电极与第一金属电极、第二金属电极形成上下非对称的石英晶体微天平电极结构。本发明采用三电极结构，能够将质量敏感型的压电谐振频率测量方法与电阻敏感气体测量方式结合在一起；所设计的第一金属电极和第二金属电极具有交错环状叉指电极结构，既保证了压电谐振体的正常工作，又降低了阻抗测试中气体敏感材料的初始电阻值，提高了阻抗测试中的信号噪声比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 双工 模式 压电 晶体 气体 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种具有双工作模式的压电晶体气体传感器，包括石英晶片和电极，其特征在于：所述电极包括第一金属电极、第二金属电极和第三金属电极，所述第一金属电极和所述第二金属电极设于所述石英晶片的正面，所述第一金属电极和所述第二金属电极形成交错环状叉指电极结构，交错环状叉指电极结构为两个圆环形电极呈内外间隔排列且通过线形导体将同一电极的多个圆环相连，线形导体与另一个电极交叉处则将另一个电极的圆环断开，所述第三金属电极设于所述石英晶片的反面，所述第三金属电极与所述第一金属电极、所述第二金属电极形成上下非对称的石英晶体微天平电极结构。
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