[发明专利]一种基于辅助加热的多晶硅铸锭用熔料方法

摘要

本发明公开了一种基于辅助加热的多晶硅铸锭用熔料方法，包括步骤：一、辅助加热器安装：在多晶硅铸锭炉内安装辅助加热器，辅助加热器为布设在坩埚下方的底部加热器，底部加热器、顶部加热器和四个侧部加热器组成六面加热装置；二、装料；三、预热：将六面加热装置开启，并采用多晶硅铸锭炉对装于坩埚内的硅料进行预热；四、熔化，过程如下：401、第一次升温；402、第二次升温；403、后续熔化。本发明方法步骤简单、设计合理、实现方便且易于掌握、使用效果好，能解决现有多晶硅铸锭熔料过程中存在的熔化效率较低、加热效果较差、铸锭成品底部的含氧量较高以及由于熔料时间不足或熔料时间过长而造成的多晶硅铸锭质量下降等问题。

主权项

一种基于辅助加热的多晶硅铸锭用熔料方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、辅助加热器安装：在多晶硅铸锭炉(9)内安装辅助加热器；所述辅助加热器为布设在坩埚(1)下方的底部加热器(3)，所述坩埚(1)为立方体坩埚且其呈水平布设，所述底部加热器(3)、布设于坩埚(1)上方的顶部加热器(2)和四个分别布设在坩埚(1)的四个侧壁外侧的侧部加热器(4)组成六面加热装置；所述顶部加热器(2)和底部加热器(3)均呈水平布设，四个所述侧部加热器(4)均呈竖直向布设；所述顶部加热器(2)、底部加热器(3)和四个所述侧部加热器(4)均布设于多晶硅铸锭炉(9)内；步骤二、装料：将内装于硅料的坩埚(1)装入多晶硅铸锭炉(9)内；步骤三、预热：将顶部加热器(2)、底部加热器(3)和四个所述侧部加热器(4)均开启，并采用多晶硅铸锭炉(9)对装于坩埚(1)内的硅料进行预热，并将多晶硅铸锭炉(9)的加热温度逐步提升至T1；预热时间为4h～6h，其中T1＝1125℃～1285℃；步骤四、熔化，过程如下：步骤401、第一次升温：采用多晶硅铸锭炉(9)对装于坩埚(1)内的硅料进行熔化，熔化温度由T1逐步提升至T2；其中T2＝1350℃～1400℃；步骤402、第二次升温：采用多晶硅铸锭炉(9)继续对装于坩埚(1)内的硅料进行熔化，熔化温度由T2逐步提升至T3；其中T3＝1540℃～1560℃；步骤403、后续熔化：待坩埚(1)内的硅料全部熔化后，将多晶硅铸锭炉(9)的加热温度控制在T3，之后所述顶部加热器(2)和四个所述侧部加热器(4)的加热功率均开始下降，待所述顶部加热器(2)和四个所述侧部加热器(4)的加热功率均停止下降且持续时间t后，熔料过程完成；其中t＝20min～40min；步骤401、步骤402和步骤403中所述顶部加热器(2)和四个所述侧部加热器(4)均处于开启状态，所述底部加热器(3)处于关闭状态。