[发明专利]一种掩模板清洗装置以及掩模板清洗系统在审
| 申请号： | 201610695394.6 | 申请日： | 2016-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN107755360A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 裴泳镇;金甲锡;李浩永;丁熙荣 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | B08B6/00 | 分类号： | B08B6/00;B08B13/00;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种掩模板清洗装置以及掩模板清洗系统，以简化掩模板的清洗工艺，降低掩模板的清洗成本。所述装置包括清洗腔室，设置于所述清洗腔室内的至少一个导电板，以及设置于所述清洗腔室壁的第一排气阀、第一进气阀以及第一检测部件；所述第一排气阀与真空泵连接，在所述真空泵对所述清洗腔室抽真空的作用下，使得所述清洗腔室达到第一预设真空状态；所述第一进气阀用于在所述清洗腔室达到所述第一预设真空状态时，向所述清洗腔室内注入清洗气体；所述导电板，用于放置待清洗的掩模板，以及在所述清洗腔室达到所述第一预设真空状态时，通过加电使得所述清洗气体电离，电离后的清洗气体对所述掩模板进行清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模板 清洗 装置 以及 系统 | ||
【主权项】：
一种掩模板清洗装置，其特征在于，所述装置包括：清洗腔室，设置于所述清洗腔室内的至少一个导电板，以及设置于所述清洗腔室壁的第一排气阀、第一进气阀以及第一检测部件；所述第一排气阀与真空泵连接，在所述真空泵对所述清洗腔室抽真空的作用下，使得所述清洗腔室达到第一预设真空状态；所述第一检测部件用于检测所述清洗腔室是否到达所述第一预设真空状态；所述第一进气阀用于在所述清洗腔室达到所述第一预设真空状态时，向所述清洗腔室内注入清洗气体；所述导电板，用于放置待清洗的掩模板，以及在所述清洗腔室达到所述第一预设真空状态时，通过加电使得所述清洗气体电离，电离后的清洗气体对所述掩模板进行清洗。
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