[发明专利]一种半导体气体传感器温度补偿方法

摘要

本案为一种半导体气体传感器温度补偿方法，包括以下步骤：步骤1)：通过工控机在多个气体传感器中选择一气体传感器进行测试；步骤2)：控制多路传感器测试气体座提供给多个气体传感器测试所需的气体浓度值；步骤3)：通过气体浓度控制仪改变多个气体传感器测试所需的气体浓度值；步骤4)：通过工控机控制高低温箱为多个气体传感器改变温度补偿所需的温度环境；步骤5)：改变多个气体传感器测试所需的气体浓度值；步骤6)：将所有初始数据传送给工控机；步骤7)：在电桥上增加补偿电阻，形成补偿电阻网络；步骤8)：重复步骤一至八，直至在所有通道中均已形成补偿电阻网络。本案的半导体气体传感器温度补偿方法简单实用、灵活方便、易于推广。

主权项

一种半导体气体传感器温度补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1)：通过工控机控制多通道电桥测试模块在多个气体传感器中选择一气体传感器进行测试，通过工控机控制高低温箱为所述多个气体传感器提供温度补偿所需的温度环境；步骤2)：通过气体浓度控制仪控制多路传感器测试气体座提供给所述多个气体传感器测试所需的气体浓度值，接着通过可编程电源向多通道电桥测试模块选择的气体传感器提供基准电压，接着通过万用表采集多通道电桥测试模块选择的气体传感器的电桥的初始数据；步骤3)：通过气体浓度控制仪控制所述多路传感器测试气体座改变所述多个气体传感器测试所需的气体浓度值，再通过万用表采集多通道电桥测试模块选择的气体传感器的电桥的初始数据；步骤4)：通过工控机控制高低温箱为所述多个气体传感器改变温度补偿所需的温度环境，再通过气体浓度控制仪控制所述多路传感器测试气体座提供给所述多个气体传感器测试所需的气体浓度值，接着通过万用表采集多通道电桥测试模块选择的气体传感器的电桥的初始数据；步骤5)：通过气体浓度控制仪控制所述多路传感器测试气体座改变所述多个气体传感器测试所需的气体浓度值，再通过万用表采集多通道电桥测试模块选择的气体传感器的电桥的初始数据；步骤6)：通过万用表将所有初始数据传送给工控机，再通过工控机根据所述初始数据得出补偿数据，形成所述气体传感器的电桥的补偿电阻网络；步骤7)：在电桥上增加补偿电阻，形成补偿电阻网络；步骤8)：重复步骤一至步骤八，直至在所有通道中均已形成该通道中的气体传感器的电桥的补偿电阻网络。