[发明专利]片材承载治具有效
申请号: | 201610695811.7 | 申请日: | 2016-08-19 |
公开(公告)号: | CN107768479B | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | 魏超锋;曹明奇;张济蕾;邓浩 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 燕肇琪 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开的片材承载治具,包括承载架以及与承载架相配合的盖体,承载架包括至少一个承载杆和至少一个支撑杆对,承载杆从底部承载片材,至少一个支撑杆对从片材的两侧支撑片材,盖体与承载杆相对设置。本发明的片材承载治具解决了现有的花篮承载硅片不稳定易磕碰、以及易因粘连影响清洗或处理效果的问题。本发明的片材承载治具包括相互配合的承载架和盖体,从各个方向将片材限制于承载架和盖体之间,减少甚至避免了片材的不必要的磕碰;并且,承载架具有止挡组件,与盖体的限位组件相配合,可以使相邻的片材相互间隔且具有足够的间隙,如此,确保试剂处理或清洗的效果。 | ||
搜索关键词: | 承载 | ||
【主权项】:
片材承载治具,其特征在于,包括承载架(1)以及与所述承载架(1)相配合的盖体(2),所述承载架(1)包括至少一个承载杆(12)和至少一个支撑杆对(13),所述承载杆(12)从底部承载片材,所述至少一个支撑杆对(13)从所述片材的两侧支撑片材,所述盖体(2)与所述承载杆(12)相对设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的