[发明专利]片材承载治具有效

专利信息
申请号: 201610695811.7 申请日: 2016-08-19
公开(公告)号: CN107768479B 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: 魏超锋;曹明奇;张济蕾;邓浩 申请(专利权)人: 隆基绿能科技股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/673
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 燕肇琪
地址: 710100 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开的片材承载治具,包括承载架以及与承载架相配合的盖体,承载架包括至少一个承载杆和至少一个支撑杆对,承载杆从底部承载片材,至少一个支撑杆对从片材的两侧支撑片材,盖体与承载杆相对设置。本发明的片材承载治具解决了现有的花篮承载硅片不稳定易磕碰、以及易因粘连影响清洗或处理效果的问题。本发明的片材承载治具包括相互配合的承载架和盖体,从各个方向将片材限制于承载架和盖体之间,减少甚至避免了片材的不必要的磕碰;并且,承载架具有止挡组件,与盖体的限位组件相配合,可以使相邻的片材相互间隔且具有足够的间隙,如此,确保试剂处理或清洗的效果。
搜索关键词: 承载
【主权项】:
片材承载治具,其特征在于,包括承载架(1)以及与所述承载架(1)相配合的盖体(2),所述承载架(1)包括至少一个承载杆(12)和至少一个支撑杆对(13),所述承载杆(12)从底部承载片材,所述至少一个支撑杆对(13)从所述片材的两侧支撑片材,所述盖体(2)与所述承载杆(12)相对设置。
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