[发明专利]一种用于MCVD的原料气体输送部件与掺杂装置有效

专利信息
申请号: 201610696838.8 申请日: 2016-08-22
公开(公告)号: CN106336112B 公开(公告)日: 2019-11-22
发明(设计)人: 黄宏琪;杨玉诚;王鹏;岳天勇;曹蓓蓓;李江 申请(专利权)人: 长飞光纤光缆股份有限公司
主分类号: C03B37/018 分类号: C03B37/018
代理公司: 42233 武汉臻诚专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 郝新慧<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 430074 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种用于MCVD的原料气体输送部件,包括设置于金属加热套管管内的原料输送管道,金属加热套管设置于高纯石英玻璃套管管内,原料输送管道中各个气体管道的材料均为耐腐蚀不锈钢材质。本发明将输送所有原料气体的管道置于金属加热套管中同步保温,然后同时输出至反应管中,可精确控制原料气体温度,使原料气体尽早混合均匀,改善气相沉积法制备稀土掺杂预制棒的均匀性;各个气体管道为耐腐蚀不锈钢材质,使得原料输送管道能够耐高温且能承受腐蚀气体的腐蚀性,并且耐腐蚀不锈钢材质延展性好,不像玻璃管道那样易碎;有效改善制备掺稀土光纤预制棒的工艺环境,提高光纤预制棒的性能。本发明还提供了相应的用于MCVD的掺杂装置。
搜索关键词: 一种 用于 mcvd 原料 气体 输送 部件 掺杂 装置
【主权项】:
1.一种用于MCVD的原料气体输送部件,其特征在于,包括原料输送管道、带加热功能的金属加热套管以及高纯石英玻璃套管,其中所述原料输送管道设置于所述带加热功能的金属加热套管管内,所述带加热功能的金属加热套管设置于所述高纯石英玻璃套管管内,所述原料输送管道中各个气体管道的材料均为耐腐蚀不锈钢材质,所述高纯石英玻璃套管用于避免金属加热套管造成的污染;/n所述原料输送管道中各个气体管道的位置关系为:稀土螯合物管道位于正中间,其余四根管道环绕在所述稀土螯合物管道外围,其中所述螯合物管道比其余四根管道伸出2.5-5.4cm。/n
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