[发明专利]一种用于MCVD的原料气体输送部件与掺杂装置有效
申请号: | 201610696838.8 | 申请日: | 2016-08-22 |
公开(公告)号: | CN106336112B | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 黄宏琪;杨玉诚;王鹏;岳天勇;曹蓓蓓;李江 | 申请(专利权)人: | 长飞光纤光缆股份有限公司 |
主分类号: | C03B37/018 | 分类号: | C03B37/018 |
代理公司: | 42233 武汉臻诚专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 郝新慧<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 430074 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种用于MCVD的原料气体输送部件,包括设置于金属加热套管管内的原料输送管道,金属加热套管设置于高纯石英玻璃套管管内,原料输送管道中各个气体管道的材料均为耐腐蚀不锈钢材质。本发明将输送所有原料气体的管道置于金属加热套管中同步保温,然后同时输出至反应管中,可精确控制原料气体温度,使原料气体尽早混合均匀,改善气相沉积法制备稀土掺杂预制棒的均匀性;各个气体管道为耐腐蚀不锈钢材质,使得原料输送管道能够耐高温且能承受腐蚀气体的腐蚀性,并且耐腐蚀不锈钢材质延展性好,不像玻璃管道那样易碎;有效改善制备掺稀土光纤预制棒的工艺环境,提高光纤预制棒的性能。本发明还提供了相应的用于MCVD的掺杂装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 mcvd 原料 气体 输送 部件 掺杂 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于MCVD的原料气体输送部件,其特征在于,包括原料输送管道、带加热功能的金属加热套管以及高纯石英玻璃套管,其中所述原料输送管道设置于所述带加热功能的金属加热套管管内,所述带加热功能的金属加热套管设置于所述高纯石英玻璃套管管内,所述原料输送管道中各个气体管道的材料均为耐腐蚀不锈钢材质,所述高纯石英玻璃套管用于避免金属加热套管造成的污染;/n所述原料输送管道中各个气体管道的位置关系为:稀土螯合物管道位于正中间,其余四根管道环绕在所述稀土螯合物管道外围,其中所述螯合物管道比其余四根管道伸出2.5-5.4cm。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长飞光纤光缆股份有限公司,未经长飞光纤光缆股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610696838.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种可钢化环保镀膜装饰玻璃及其制作工艺
- 下一篇:一种紫外线吸收绿色隔热玻璃