[发明专利]纳米级分辨率、微米级受控运动的微电极推进器及控制系统

摘要

本发明公开了用于微电极推进的，具有纳米级分辨率、微米级受控运动的微推进器及控制系统，该微推进器包括壳体以及固定连接壳体的马达，壳体的内腔内设置有精密减速器、螺杆组件和夹持部件；螺杆组件包括螺杆和螺套，螺套轴向滑动于壳体内腔，并且壳体二运行终点有轴向限位；螺套的外端部固定连接夹持部件的安装座；马达的输出轴通过减速器连接螺杆；控制系统以单片机为核心的控制部分使推进器受控，并可以补偿减速器等运动链的间隙误差。本文中的微推进器系统大大提高了微推进器的控制精度和分辨率。并且由于微推进器小巧、一体，只需增加一连接件，就可以轻易与目前简易的立体定位仪相连接，将手动的立体定位仪升级成为顶级精度的微电极推进装置。

主权项

1.一种纳米级分辨率、微米级受控运动的微电极推进器，包括壳体以及固定连接所述壳体的马达(18)，其特征在于，所述壳体具有内腔，所述壳体的内腔内设置有减速器(8)、螺杆组件和夹持部件；所述螺杆组件包括螺杆(3)和与所述螺杆(3)螺纹配合的螺套(4)，所述螺杆(3)通过轴承支撑于所述壳体的内腔，所述螺套(4)轴向滑动于所述壳体内腔，并且与所述壳体轴向二终点限位；所述螺套(4)的外端部固定连接所述夹持部件的安装座；所述马达(18)的输出轴通过所述减速器(8)连接所述螺杆(3)；还包括导套(2)，所述导套(2)的外壁固定于所述壳体的内腔，所述螺套(4)通过滚动部件与所述壳体的内腔壁接触滑动，导套(2)的周壁开设有沿轴向延伸的滑槽，所述滚动部件设置于所述滑槽内部。