[发明专利]一种纳米抛光液的制备方法有效

专利信息
申请号: 201610703064.7 申请日: 2016-08-22
公开(公告)号: CN106349948B 公开(公告)日: 2018-09-21
发明(设计)人: 邓丽荣;王晓刚 申请(专利权)人: 西安博尔新材料有限责任公司
主分类号: H01L21/302 分类号: H01L21/302
代理公司: 西安创知专利事务所 61213 代理人: 谭文琰
地址: 710089 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供了一种纳米抛光液的制备方法,包括以下步骤:一、将碳化硅微粉与水以及分散剂按质量比混合均匀,得到混合料,然后将所述混合料置于砂磨机中循环粉碎,直至混合料中固体物料的粒径为纳米级,得到纳米碳化硅浆料;二、加水稀释,得到纳米碳化硅悬浮液;三、加入螯合剂、润滑剂、防腐剂和pH调节剂,搅拌均匀后得到纳米抛光液。采用本发明所制备的纳米抛光液为水性,具有绿色环保、抛光散热快、稀释能力强、成本低等优点。
搜索关键词: 一种 纳米 抛光 制备 方法
【主权项】:
1.一种纳米抛光液的制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤一、将碳化硅微粉、水和分散剂按质量比(0.2~0.3)∶1∶(0.03~0.08)混合均匀,得到混合料,然后将所述混合料置于砂磨机中循环粉碎,直至混合料中固体物料的粒径为纳米级,得到纳米碳化硅浆料,所述碳化硅微粉的粒径不大于1.5μm;步骤二、向步骤一中所述纳米碳化硅浆料中加水稀释,搅拌均匀后得到纳米碳化硅悬浮液;所加入的水的体积为纳米碳化硅浆料体积的1~20倍;步骤三、向步骤二中所述纳米碳化硅悬浮液中加入螯合剂、润滑剂、防腐剂和pH调节剂,搅拌均匀后得到纳米抛光液;所述纳米抛光液中螯合剂的质量百分含量为0.01%~1%,润滑剂的质量百分含量为0.5%~2%,防腐剂的质量百分含量为0.03%~1%,pH调节剂的质量百分含量为0.5%~3%;步骤一中所述循环粉碎的具体工艺参数为:研磨介质球为经整形后的粒径为0.1mm~0.5mm的立方碳化硅晶体,研磨介质球的体积为砂磨机中粉碎腔总体积的60%~80%,循环粉碎的速率为500r/min~1000r/min,循环粉碎的时间为10d~30d;步骤一中所述分散剂为四甲基氢氧化铵、聚乙二醇6000、聚丙烯酸铵和六偏磷酸钠中的任意一种或两种以上。
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