[发明专利]一种SF6开关柜的氦质谱检漏的方法

摘要

本发明公开了一种SF6开关柜的氦质谱检漏的方法，系统电气控制通过PLC来实现，将SF6开关柜置于真空箱内，连接好SF6开关柜的抽空管道，系统自动的完成对真空箱体、SF6开关柜的抽空，待抽空完成，氦气充注回收系统向SF6开关柜充注一定压力的氦气，SF6开关柜中的氦气充注氦气完成，开启检漏真空挡板阀，通过氦质谱检漏仪显示漏率变化，来判断SF6开关柜密封情况，从而判断被检SF6开关柜密封性是否合格。同时，采用真空箱抽空与SF6开关柜抽空同时进行，并实时监测箱体与SF6开关柜的压力，保证SF6内外压差在一定的范围内，从而确保了工件不会因为内外压差过大而造成损坏。

主权项

一种SF6开关柜的氦质谱检漏的方法，其特征在于：包括有真空箱部分、箱体抽空部分、工件抽空部分、氦质谱检漏部分、氦气充注回收系统和SF6充注系统，所述的真空箱部分由真空箱体与皮拉尼真空计组成，所述的箱体抽空部分由箱体抽空泵组、箱体抽空阀及用于连接的箱体抽空管道组成，用于对真空箱体的抽空，所述的氦质谱检漏部分由氦质谱检漏仪、检漏阀及用于连接管道组成，所述的工件抽空部分由工件抽空泵、工件抽空阀、用于监测工件内压力的压力传感器及工件抽空管道组成；所述的皮拉尼真空计安装在真空箱体上，SF6开关柜放在真空箱体的内部，真空箱体通过箱体抽空管道依次与箱体抽空阀和箱体抽空泵组连接，氦质谱检漏仪通过检漏阀和管道与箱体抽空管道连接，所述的真空箱体通过工件抽空管道依次与工件抽空阀和工件抽空泵连接，工件抽空阀连接在SF6开关柜的充气端口，压力传感器连接在工件抽空管道上，氦气充注回收系统通过氦气充注回收阀连接在工件抽空管道上，SF6充注系统通过SF6充注阀连接在工件抽空管道上，在氦质谱检漏仪的检漏口连接有吸枪，在真空箱体上安装有箱体放气阀；将SF6开关柜置于真空箱体中，连接好SF6开关柜的抽空管道，真空箱体关门，打开工件抽空阀、箱体抽空阀，分别对SF6开关柜与真空箱体抽空，压力传感器、皮拉尼真空计实时监测SF6开关柜与真空箱的压力，保证SF6开关柜的压差在允许范围内，确保SF6开关柜不至于压差过大变形损坏，待真空箱体内达到检漏压力、SF6开关柜达到抽空压力，关闭工件抽空阀，开启检漏阀，并同时开启氦气充注回收阀，对SF6开关柜充注氦气，待SF6开关柜达到氦气充注压力，关闭氦气充注回收阀，通过氦质谱检漏仪显示漏率情况来判断SF6开关柜的密封性，若SF6开关柜的密封性合格，关闭检漏阀、箱体抽空阀，开启氦气充注回收阀，对SF6开关柜中的氦气进行回收，待SF6开关柜中氦气达到回收压力时，关闭氦气充注回收阀，开启SF6充注阀、箱体放气阀，压力传感器、皮拉尼真空计实时监测SF6开关柜与真空箱的压力，保证SF6开关柜内外压差在允许范围内，待SF6开关柜充注SF6达到设置压力时，关闭SF6充注阀，真空箱体开门，取出已充注SF6的开关柜；若SF6开关柜的密封性不合格，关闭检漏阀、箱体抽空阀，开启氦气充注回收阀、箱体放气阀，分别对SF6开关柜中的氦气进行继续充注与真空箱体放气，实时保证SF6开关柜内外压差在允许范围内，待SF6开关柜中的氦气达到设定压力时，关闭氦气充注回收阀，开启真空箱体的箱门，取出充注氦气的SF6开关柜，使用吸枪寻找SF6开关柜的漏点。