[发明专利]一种多维变参数振动机械抛光装置及其模糊PID控制方法有效
申请号: | 201610704946.5 | 申请日: | 2016-08-22 |
公开(公告)号: | CN106239274B | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
发明(设计)人: | 王桂莲;周晓勤;马培群;朱培浩;刘婕;周海波;乔志峰 | 申请(专利权)人: | 天津理工大学 |
主分类号: | B24B1/04 | 分类号: | B24B1/04;B24B41/02;B24B41/00;G05B11/42 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 周明飞 |
地址: | 300384 *** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种多维变参数振动机械抛光装置,包括x轴铰链与y轴铰链连接构成十字结构,十字结构中心处连接抛光头,抛光头连接z轴铰链的一端;其中,z轴铰链的另一端开设有第一沉孔;单向铰链,其相互连接成口字结构,口字结构和十字结构连接成田字结构;其中,口字结构的相邻两边的中心处分别开设有第二沉孔和第三沉孔;z轴驱动单元,其连接第一沉孔,用于带动z轴双向铰链沿z轴方向运动;y轴驱动单元,其连接第二沉孔,用于带动田字机构沿y轴方向运动;x轴驱动单元,其连接第三沉孔,用于带动田字机构沿x轴方向运动。本发明的抛光装置采用对称式单轴和双轴柔性铰链结构,使抛光磨头在三维空间实现某一轨迹运动,并能够消除运动耦合。 | ||
搜索关键词: | 沉孔 口字结构 抛光装置 十字结构 铰链 振动机械 变参数 抛光头 中心处 多维 三维空间 双轴柔性铰链 模糊PID控制 单向铰链 轨迹运动 铰链连接 抛光磨头 双向铰链 运动耦合 对称式 字结构 单轴 两边 | ||
【主权项】:
一种多维变参数振动机械抛光装置,其特征在于,包括:x轴双向铰链与y轴双向铰链对称连接构成十字结构,所述十字结构的中心处固定连接抛光头,所述抛光头正下方连接z轴双向铰链的一端;其中,所述z轴双向铰链的另一端开设有第一沉孔;单向铰链,其相互连接成口字形结构,所述口字形结构和十字结构连接成田字形结构;其中,所述口字形结构的相邻两边的中心处分别开设有第二沉孔和第三沉孔;z轴驱动单元,其连接所述第一沉孔,用于带动所述z轴双向铰链沿z轴方向运动;y轴驱动单元,其连接所述第二沉孔,用于带动所述田字形结构沿y轴方向运动;x轴驱动单元,其连接所述第三沉孔,用于带动所述田字形结构沿x轴方向运动;位移传感器,其分别连接所述x、y和z轴驱动单元,用于检测x、y和z轴驱动单元的实际位移;模糊PID控制器,其连接所述位移传感器,用于接收位移传感器的数据并通过补偿来修正实际位移。
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