[发明专利]三工位循环离子束抛光装置及加工方法

摘要

本发明公开了一种三工位循环离子束抛光装置及加工方法，属于精密光学技术领域。抛光装置包括主真空室、主真空室门、矩形阀、推车、副真空室、副真空室门，主真空室中设有通向副真空室的主室导轨；副真空室为矩形，长度为三个工位，其长度方向与主室导轨垂直，并在该方向上设有副室导轨；副室导轨上设有工位移动平台，工位移动平台上设有与主室导轨衔接的左车导轨和右车导轨；左车导轨上设有左工件移动车及左夹具，右车导轨上设有右工件移动车及右夹具。本发明使得多块工件能够循环加工，主真空室可以连续不断的进行抛光加工，实现工件的连续换料、送料操作，大大提升了离子束抛光加工效率。

主权项

一种三工位循环离子束抛光装置，包括主真空室（1）、主真空室门（2）、矩形阀（3）、推车（4）、副真空室（8）、副真空室门（10），主真空室（1）中设有通向副真空室（8）的主室导轨（5‑1）；其特征在于，副真空室（8）为矩形，长度为三个工位，其长度方向与主室导轨（5‑1）垂直，并在该方向上设有副室导轨（5‑2）；副室导轨（5‑2）上设有工位移动平台（9），工位移动平台（9）上设有与主室导轨（5‑1）衔接的左车导轨（5‑3）和右车导轨（5‑4）；左车导轨（5‑3）上设有左工件移动车（7‑1）及左夹具（6‑1），右车导轨（5‑4）上设有右工件移动车（7‑2）及右夹具（6‑2）。