[发明专利]具有像散补偿和能量选择的带电粒子显微镜有效
| 申请号： | 201610705341.8 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN107026065B | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | B.塞达;L.图马;A.亨斯特拉 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/153 | 分类号： | H01J37/153;H01J37/09 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;陈岚 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及具有像散补偿和能量选择的带电粒子显微镜。一种产生用于在带电粒子显微镜中使用的带电粒子的经校正射束的方法，包括以下步骤：提供带电粒子的非单能输入射束；将所述输入射束传递经过光学模块，所述光学模块包括以下的串联布置：像散矫正器，从而产生具有特定单能线聚焦方向的经像散补偿、能量色散的中间射束；射束选择器，包括狭缝，所述狭缝被旋转取向以便将狭缝的方向与所述线聚焦方向匹配，从而产生包括所述中间射束的能量辨别部分的输出射束。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 补偿 能量 选择 带电 粒子 显微镜 | ||
【主权项】：
一种产生用于在带电粒子显微镜中使用的带电粒子的经校正射束的方法，其特征在于以下步骤：– 提供带电粒子的非单能输入射束；– 将所述输入射束传递经过光学模块，所述光学模块包括以下的串联布置：·像散矫正器，从而产生具有特定单能线聚焦方向的经像散补偿、能量色散的中间射束；·射束选择器，包括狭缝，所述狭缝被旋转取向以便将狭缝的方向与所述线聚焦方向匹配，从而产生包括所述中间射束的能量辨别部分的输出射束。
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