[发明专利]一种PE扩散自动上下料装置有效
申请号: | 201610707227.9 | 申请日: | 2016-08-23 |
公开(公告)号: | CN106129184B | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 毛国清;陆佳佳 | 申请(专利权)人: | 昊诚光电(太仓)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人: | 张建鹏 |
地址: | 215400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种PE扩散自动上下料装置,其特征在于:该PE扩散自动上下料装置包括工作台,所述工作台上设置有传输轨道,所述传输轨的一端设置有定位装置,所述定位装置上方非接触的安装有支架,升降杆与所述支架垂直相连接,所述升降杆的上表面安装有机械臂,所述升降杆的底部安装有与所述支架相平行的水平轨道;无需人工插片,整条生产线设计自动报警、自动停止信息,实现自动化控制,设计方案确定后,零部件采购,安装调试,操作方法确定,用于生产。 | ||
搜索关键词: | 自动上下料装置 升降杆 支架 定位装置 扩散 零部件采购 生产线设计 自动化控制 安装调试 传输轨道 方案确定 水平轨道 一端设置 自动报警 自动停止 非接触 机械臂 上表面 工作台 插片 平行 垂直 传输 生产 | ||
【主权项】:
1.一种PE扩散自动上下料装置,其特征在于:该PE扩散自动上下料装置包括工作台,所述工作台上设置有传输轨道,所述传输轨道的一端设置有定位装置,所述定位装置上方非接触地安装有支架,升降杆与所述支架垂直相连接,所述升降杆的上表面安装有机械臂,所述升降杆的底部安装有与所述支架相平行的水平轨道,其中,所述机械臂包括底座,所述底座的垂直下端依次安装有连接件和抓臂,所述底座和所述连接件通过气管连接,所述抓臂上安装有多个平行排列的梳齿,所述多个梳齿垂直地与所述连接件相连接;所述传输轨道有三条,且每条所述传输轨道相互平行。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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