[发明专利]并有具有孔隙的衬底的VCSEL有效
| 申请号： | 201610707921.0 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN106486889B | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 钟-伊·苏;克里斯汀·陈 | 申请（专利权）人： | 安华高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/40 | 分类号： | H01S5/40 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 本发明涉及一种并有衬底的垂直腔半导体激光器VCSEL，所述衬底具有孔隙，所述孔隙允许在所述VCSEL的作用层中产生的光在传播穿过第一组半导体层之后射出所述VCSEL。所述VCSEL进一步包含不透明底部层，所述不透明底部层阻挡在所述作用层中产生且传播穿过第二组半导体层的光。所述不透明底部层可附接到用于热耗散的散热片，借此允许在高功率电平下操作所述VCSEL。所述作用层夹置在所述第一组半导体层与所述第二组半导体层之间。不同于其中仅某些波长的光可传播穿过对这些特定波长“透明”的实心衬底的传统VCSEL，根据本发明的VCSEL的所述衬底中所提供的所述孔隙允许许多不同波长的传播。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 孔隙 衬底 vcsel | ||
【主权项】：
1.一种垂直腔表面发射激光器VCSEL，其包括：作用层，其夹置在第一多个半导体层与第二多个半导体层之间；生长衬底，其具有孔隙，所述孔隙从所述生长衬底的第一主要表面至少延伸到所述第一多个半导体层当中的第一半导体层的第一主要表面，其中所述孔隙包含台阶部分，所述台阶部分将所述孔隙的第一渐缩桶状部分与所述孔隙的第二渐缩桶状部分划分开；及不透明底部层，其经配置以阻挡在所述作用层中产生且传播穿过所述第二多个半导体层的光。
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