[发明专利]一种用于测试集成电路的探针卡

摘要

本发明公开了一种用于测试集成电路的探针卡，包括探针座和检测电路板，所述探针上成型有止挡部，止挡部的下端抵靠在一弹性袋壳上，所述弹性袋壳中填充有气体，弹性袋壳上成型有出气口，所述出气口上铰接有密封门，密封门一侧的探针孔侧壁上成型有通气槽，通气槽的侧壁上设有气推活塞块，所述气推活塞块将通气槽分隔为通气区和复位区，所述复位区内设有复位弹簧，所述复位弹簧的一端压靠在气推活塞块上、另一端压靠在通气槽的端部内侧壁上；所述探针孔内插接有竖直的导电片，所述导电片的上端活动连接在止挡部上、下端连接在检测电路板上。本发明结构简单，制造及组装方便，同时能避免传统探针卡内弹簧机械疲劳失效而造成接触不良。

主权项

1.一种用于测试集成电路的探针卡，包括探针座(10)和检测电路板(20)，所述探针座(10)内具有探针孔(11)，所述探针孔(11)内插接有探针(30)，所述探针的探头(31)露出探针座(10)的上端面，其特征在于：所述探针(30)上成型有止挡部(33)，所述止挡部的上端抵靠在探针孔(11)的侧壁上，止挡部(33)的下端抵靠在一弹性袋壳(40)上，所述弹性袋壳中填充有气体(41)，弹性袋壳(40)的侧壁紧贴在探针孔(11)的侧壁上，弹性袋壳(40)上成型有出气口(44)，所述出气口上铰接有密封门(50)，所述密封门的边缘侧壁与出气口(44)之间设有密封垫(51)，密封门(50)一侧的探针孔(11)侧壁上成型有通气槽(13)，通气槽的侧壁上设有气推活塞块(60)，所述气推活塞块将通气槽(13)分隔为通气区(131)和复位区(132)，所述通气区(131)与密封门(50)相连通，所述复位区(132)内设有复位弹簧(70)，所述复位弹簧的一端压靠在气推活塞块(60)上、另一端压靠在通气槽(13)的端部内侧壁上；所述探针孔(11)内插接有竖直的导电片(80)，所述导电片的上端弯折成型有上连接部(81)、下端弯折成型有下连接部(82)，所述止挡部(33)的侧壁上成型有竖直的插接槽(331)，所述上连接部(81)的一端插接在所述插接槽(331)内，插接槽的侧壁上成型有竖直的导向槽(332)，上连接部(81)的端部成型有凸出的导向块(811)，所述导向块插套在所述导向槽(332)内，所述弹性袋壳(40)的下端抵靠有一连接块(90)，所述下连接部(82)抵靠在所述连接块(90)的下端面并与连接块(90)通过导电螺钉(91)连接在一起，所述导电螺钉抵靠在检测电路板(20)的导电区域上；所述弹性袋壳(40)上成型有充气口(42)和排气口(43)。