[发明专利]一种通用型激光陀螺反射镜在线测量装置

摘要

本发明属于反射镜在线检测技术，具体涉及一种通用型激光陀螺反射镜在线测量装置，其包括激光陀螺腔体，光胶垫块，减反镜，密封反射镜。其中激光陀螺腔体包括阴极、阳极、储气孔、毛细孔。所述光胶垫块有两块，对称设置在某待测储气孔两侧，且光胶垫块内部通孔与待测储气孔之间通过斜通孔贯通，减反镜设置在光胶垫块垂直其内部通孔的光胶面上，密封反射镜设置在其余储气孔上。本发明装置进行测量时，测试激光顺次通过一侧减反镜、斜通孔、待测反射镜及另一侧斜通孔和减反镜后，实时探测出射激光的信息，可得到待测反射镜性能的实时变化。该装置能够有效降低等离子体对减反镜性能的影响，保证测量结果的准确性，且易于高精密光学加工，通用性好。

主权项

1.一种通用型激光陀螺反射镜在线测量装置，其特征在于，包括激光陀螺腔体(1)，光胶垫块(3)，减反镜(4)，密封反射镜(5)和待测反射镜，其中激光陀螺腔体(1)包括阴极(11)、阳极(12)、储气孔(13)、毛细孔(14)，其中，阴极(11)、阳极(12)、储气孔(13)之间的工作气体通过毛细孔(14)导通，所述光胶垫块(3)有两块，对称设置在激光陀螺腔体(1)某待测反射镜(5)所对应的储气孔(13)两侧，且光胶垫块(3)内部通孔与激光陀螺腔体(1)待测反射镜(5)所对应的储气孔(13)之间通过斜通孔(2)贯通，减反镜(4)设置在光胶垫块(3)垂直其内部通孔的光胶面上，减反镜(4)中减反射膜的入射角为0度，密封反射镜(5)设置在其余储气孔(13)上，密封反射镜(5)的高反射膜的入射角与激光陀螺腔体(1)对应的待测反射镜入射角相同，斜通孔(2)与光胶垫块(3)的通孔轴向对齐，且两个斜通孔(2)的轴线的交点位于储气孔(13)所对应的光胶面(15)的中心位置，斜通孔(2)与所对应的光胶面(15)的夹角与待测反射镜入射角相同，当激光陀螺腔体(1)为四边形时，斜通孔(2)与所对应光胶面(15)的夹角为45°，当激光陀螺腔体(1)为三角形时，斜通孔(2)与所对应光胶面(15)的夹角为30°，当装置进行在线测量时，将待测反射镜光胶于斜通孔(2)所对应的光胶面(15)处，待测反射镜的中心位于所对应储气孔(13)的轴线上。