[发明专利]非球面补偿镜的设计和装配方法在审
| 申请号： | 201610709908.9 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN106247929A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 高松涛;苗二龙;武东城;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非球面补偿镜的设计和装配方法、非球面光学检测系统和方法。所述非球面补偿镜的设计方法包括步骤：将干涉仪参考面设置于非球面补偿镜的内部；将设置好干涉仪参考面的非球面补偿镜通过标准具接口直接安装于干涉仪的标准具接口位置。本发明通过将参考面设置于非球面补偿镜的内部，且非球面补偿镜可以通过标准具接口直接安装在干涉仪上，不用将干涉仪发出的球面波转化为与待测非球面相匹配的非球面波，从而简化了非球面的检测光路结构，实现了对非球面方便、快捷的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 球面 补偿 设计 装配 方法 | ||
【主权项】：
一种非球面补偿镜的设计方法，应用于非球面光学检测中，其特征在于，所述非球面补偿镜的设计方法包括如下步骤：将干涉仪参考面设置于非球面补偿镜的内部；将设置好干涉仪参考面的非球面补偿镜通过标准具接口直接安装于干涉仪的标准具接口位置。
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