[发明专利]电子级砷烷中痕量金属杂质含量的取样装置和分析方法有效
| 申请号： | 201610710162.3 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN106226138B | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 周庆美;李东升 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N27/62 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹;王婧 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子级砷烷中痕量金属杂质含量的取样装置，其特征在于，包括样品管路和吹扫气体管路，所述的样品管路包括砷烷钢瓶、冷却盘管、取样瓶和真空发生器，所述的砷烷钢瓶的瓶阀通过管路连接设于冷阱中的冷却盘管的一端，冷却盘管的另一端通过管路连接取样瓶的入口，取样瓶的出口连接第五隔膜阀，第五隔膜阀连接真空发生器的入口，真空发生器的出口连接尾气处理系统；砷烷钢瓶的瓶阀与冷却盘管之间的管路连接吹扫气体管路。本发明利用冷阱取液态砷烷样品然后汽化挥发的方法，金属杂质残留在PFA样品瓶底，再加入硝酸溶液溶解后，最终以ICP‑MS进样检测，解决了电子级砷烷中金属杂质含量的分析检测问题，检测限可低至ppt级。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 级砷烷中 痕量 金属 杂质 含量 取样 装置 分析 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子级砷烷中痕量金属杂质含量的取样装置，其特征在于，包括样品管路和吹扫气体管路，所述的样品管路包括砷烷钢瓶(2)、冷却盘管(15)、取样瓶(18)和真空发生器(10)，所述的砷烷钢瓶(2)的瓶阀通过管路连接设于冷阱(16)中的冷却盘管(15)的一端，冷却盘管(15)的另一端通过管路连接取样瓶(18)的入口，取样瓶(18)的出口连接第五隔膜阀(20)，第五隔膜阀(20)连接真空发生器(10)的入口，真空发生器(10)的出口连接尾气处理系统；砷烷钢瓶(2)的瓶阀与冷却盘管(15)之间的管路连接吹扫气体管路；所述的吹扫气体管路包括吹扫气钢瓶(1)，吹扫气钢瓶(1)的瓶阀通过气体管道与单向阀(4)相连，单向阀(4)与第一隔膜阀(5)相连，第一隔膜阀(5)分别与第一调压阀(6)、第二调压阀(12)和第二压力表(11)相连，第一调压阀(6)分别与第一压力表(7)和第二隔膜阀(9)相连，第二隔膜阀(9)与真空发生器(10)相连，第二调压阀(12)分别与第三压力表(13)和第三隔膜阀(14)相连，第三隔膜阀(14)连接砷烷钢瓶(2)的瓶阀与冷却盘管(15)之间的管路。
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