[发明专利]具有维护作业用温度管理功能的激光装置

摘要

本发明提供一种具有维护作业用温度管理功能的激光装置。该激光装置能够防止在进行维护作业时发生结露。激光装置具备：壳体，其具有可打开的密闭构造；光学系统，其设置于壳体内；温度调节机构，其使光学系统维持预定温度；以及准备工序控制部，其控制在打开壳体前执行的准备工序。温度调节机构构成为：在激光装置的运行中使光学系统维持第1温度，并且在开始了准备工序时使光学系统维持第1温度以上的第2温度。

主权项

1.一种激光装置，具备：壳体，其具有可打开的密闭构造，并且该壳体具有激光振荡器；防止上述壳体的内部空间中湿度上升的单元；光学系统，其设置于上述壳体内；温度调节机构，其使上述光学系统维持预定温度；以及准备工序控制部，其控制在打开上述壳体前执行的准备工序，其特征在于，上述温度调节机构构成为：在激光装置的运行中使上述光学系统维持第1温度，并且在开始了上述准备工序时使上述光学系统维持上述第1温度以上的第2温度，其中，上述第1温度是15℃以上30℃以下的预定温度，上述第2温度是将预定的附加温度与露点温度相加而得的温度，或者是将预定的附加温度与上述壳体的外部的外部空气温度相加而得的温度，上述激光装置还具备：电源单元，其向上述激光振荡器供给电力，上述壳体具有间隔壁和阀，上述壳体形成有通过上述间隔壁和关闭状态的上述阀相互隔离的第1空间和第2空间，上述光学系统配置在上述第1空间，上述电源单元配置在上述第2空间，上述激光装置还具备热交换器，上述热交换器构成为：进行上述第2空间与外部空气之间的热交换，将上述电源单元维持成外部空气温度，使上述第2空间与上述壳体的外部空间相互隔离，在上述准备工序中，上述准备工序控制部打开上述阀使上述第1空间和上述第2空间相互连通，上述第2空间的湿度降低，位于第1空间的上述光学系统温度上升而不会结露。