[发明专利]一种用于硅片清洗的混合型超声波清洗剂在审
| 申请号： | 201610714717.1 | 申请日： | 2016-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN106350241A | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 吕凤岗;程林;曹来福;戴珍旭;胡正田 | 申请（专利权）人： | 安徽正田能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/22 | 分类号： | C11D1/22;C11D1/72;C11D1/14;C11D3/12;C11D3/14;C11D3/04;C11D3/06;C11D3/20;C11D3/38;C11D3/60 |
| 代理公司： | 安徽信拓律师事务所34117 | 代理人： | 张加宽 |
| 地址： | 239300 安徽省滁*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种用于硅片清洗的混合型超声波清洗剂，涉及硅材料加工技术领域，由以下重量份的原料制成丙醇52‑54份、苯酚10‑20份、胶体粒子5‑7份、氯化亚锡6‑8份、抗坏血酸6‑8份、乙酸钠2‑4份、腐植酸钠2‑4份、三聚磷酸钠3‑5份、六偏磷酸钠2‑4份、表面活性剂5‑7份、拉丝粉6‑8份、滑石粉3‑5份、去离子水260‑270份。本发明的有益效果是本发明制备方法简单，配方合理，制备的清洗剂，配合超声波清洗技术，能高效去除附着硅片上的各种污垢，同时清洗剂为中性温和型，有效的呵护硅片表壁不受损伤，使用效果良好，不会对硅片造成腐蚀，无残留，无污染，清洗效果显著，原料易得，成本低下。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 清洗 混合 超声波 洗剂 | ||
【主权项】：
一种用于硅片清洗的混合型超声波清洗剂，其特征在于，由以下重量份的原料制成：丙醇52‑54份、苯酚10‑20份、胶体粒子5‑7份、氯化亚锡6‑8份、抗坏血酸6‑8份、乙酸钠2‑4份、腐植酸钠2‑4份、三聚磷酸钠3‑5份、六偏磷酸钠2‑4份、表面活性剂5‑7份、拉丝粉6‑8份、滑石粉3‑5份、去离子水260‑270份。
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